財團法人國家實驗研究院台灣半導體研究中心

國家實驗研究院台灣半導體研究中心研發之非侵入式氣體感測器，以複合式金屬氧化物材料結合微機電結構，並搭配奈米材料與表面微結構製程可強化感測器穩定性與感測能力且適合應用於吹氣式檢測之領域。並結合異質整合封裝技術，以2.5D/3D CoCoP等彈性化封裝整合感測元件及介面讀取電路，打造高整合性之感測晶片模組且具備小尺寸與低功耗等優勢。